Le four à diffusion d’oxydation est un équipement clé pour la production de cellules photovoltaïques. Il mélange et diffuse des traces de bore, de phosphore et d'autres éléments sur la plaquette de silicium à haute température pour préparer les jonctions PN et en compose des circuits intégrés. Il peut également être utilisé pour préparer des films SiOx sur la surface de la tranche de silicium afin de protéger les tranches. Il est courant d'utiliser des thermocouples mesurant à la fois les parties intérieures et extérieures du four pour contrôler la température intérieure du four à diffusion qui pourrait effectuer l'oxydation. processus. Chaque zone de température spécifiée dispose d'un thermocouple externe et interne pour garantir la fiabilité des résultats de mesure. Les thermocouples multipoints à quartz en métal noble sont utilisés pour mesurer la température de la plaquette. Ils comportent généralement 3 à 9 points de mesure, représentant la température de la plaquette avec précision.

 

 

À cette fin, Duchin a développé des techniques et des produits exclusifs tels que le thermocouple multipoint en métal noble à quartz pour la mesure de la température de toute la section du four à diffusion, un dispositif d'étalonnage pour thermocouple multipoint.

Le produit présente certaines caractéristiques de mesure fiable de la température, de haute précision, de bonne stabilité, de réponse thermique rapide, d'anti-interférence, de résistance aux chocs à haute et basse température, de longue durée de vie, etc. Les paramètres techniques du thermocouple à quartz multipoint en métal noble sont les suivants :

Paramètres techniques	Thermocouple interne
Taper	S,R
Diamètre du fil ou du MIMS	φ0.35~0.5
Température de travail (degré)	0~1100
Précision (degré)	±1.0
Longueur du tube de protection (mm)	Inférieur ou égal à 4000
Diamètre du tube de protection (mm)	φ12~18
Matériau du tube de protection	Quartz
Structure d'extrémité chaude	Exposé
Nombre de points	3 à 6 points
Résiliation	Petit connecteur
Fil de compensation	SC{{0}}×0,5FPF
Caractéristiques des structures	Assembler T/C en combinaison pour chaque point est assez difficile

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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